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東京エレクトロン デバイス 1台で工場設備の状態監視を完結「予知保全プラットフォーム」

2020年8月6日

東京エレクトロン デバイスは、人工知能(AI)を活用して工場設備の状態を監視する予知保全プラットフォーム「CX-D」を発売。予知保全に必要なデータ収集から可視化、変化監視、状態診断、通知までの機能を集約し、システムの構築や運用にかかる負担を減らす。接続した各種PLC(Programmable Logic Controller)やセンサーからデータを収集・保存し、監視用ダッシュボード上で可視化。CSVファイルの取り込みやコマンドの取り込みにも対応。Webブラウザー経由で閲覧できるダッシュボードは、監視対象の設備ごとに簡単な画面操作で作成可能。
通常の稼働状態を学習して、設備の稼働状態の変化を「警告指数」として検知するAI技術を実装。AIが稼働状態のデータを学習し、変化検知の基準を自動で生成するとともに随時監視して変化を警告指数で表示。変化や異常を検知した際には、警告灯をつけたり作業者に電子メールを送信したりして知らせる。システムの構築・運用に必要な技術が社内にない、コストと時間の負担が大きいといった理由から状態監視システムを導入していなかった企業でも、容易に状態監視を実現可能とする。

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